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Permalink: http://hdl.handle.net/1866/17391

Adaptation d'impédance des applicateurs de champ HF servant à l'entretien de plasmas d'onde de surface

Thesis or Dissertation
Thumbnail
Fleisch_Thomas_2005_memoire.pdf (5.250Mb)
2005 (degree granted: 2006)
Author(s)
Fleisch, Thomas
Advisor(s)
Moisan, Michel
Level
Master's
Discipline
Physique
Keywords
  • Applicateur micro-ondes de champ HF
  • Plasma d'onde de surface
  • Adaptation d'impédance
  • Courbe caractéristique
  • Modélisation des lignes de champ électrique dans un applicateur
Note(s)
Mémoire numérisé par la Direction des bibliothèques de l'Université de Montréal.
Collections
  • Thèses et mémoires électroniques de l’Université de Montréal [17174]
  • Faculté des arts et des sciences – Département de physique - Thèses et mémoires [467]

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