Adaptation d'impédance des applicateurs de champ HF servant à l'entretien de plasmas d'onde de surface

Fleisch_Thomas_2005_memoire.pdf (5.250Mb)

2005 (degree granted: 2006)

Author(s)

Fleisch, Thomas

Advisor(s)

Moisan, Michel

Level

Master's

Discipline

Physique

Keywords

• Applicateur micro-ondes de champ HF
• Plasma d'onde de surface
• Adaptation d'impédance
• Courbe caractéristique
• Modélisation des lignes de champ électrique dans un applicateur

Note(s)

Mémoire numérisé par la Direction des bibliothèques de l'Université de Montréal.

Collections

• Thèses et mémoires électroniques de l’Université de Montréal [17174]
• Faculté des arts et des sciences – Département de physique - Thèses et mémoires [467]