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dc.contributor.advisorMoisan, Michel
dc.contributor.authorFleisch, Thomas
dc.date.accessioned2017-03-15T01:26:32Z
dc.date.available2017-03-15T01:26:32Z
dc.date.issued2006
dc.date.submitted2005
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/1866/17391
dc.subjectApplicateur micro-ondes de champ HF
dc.subjectPlasma d'onde de surface
dc.subjectAdaptation d'impédance
dc.subjectCourbe caractéristique
dc.subjectModélisation des lignes de champ électrique dans un applicateur
dc.titleAdaptation d'impédance des applicateurs de champ HF servant à l'entretien de plasmas d'onde de surface
dc.typeThèse ou mémoire / Thesis or Dissertation
etd.degree.disciplinePhysiquefr
etd.degree.grantorUniversité de Montréalfr
etd.degree.levelMaîtrise / Master's
etd.degree.nameM. Sc.
dcterms.descriptionMémoire numérisé par la Direction des bibliothèques de l'Université de Montréal.fr
dcterms.languagefra


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