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Étude fondamentale du traitement du bois dans les plasmas N2-O2
(2018-03-21)
Le traitement du bois par plasma a été étudié au moyen d’une décharge à barrière diélectrique (DBD). Des échantillons d’érable à sucre (Acer saccharum) et d’épinette noire (Picea mariana) ont été exposés à la post-décharge ...
Développement et caractérisation de sources de neutres réactifs pour l’étude des interactions plasmas-surfaces
(2012-04-05)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer et de caractériser diverses sources de neutres réactifs destinées à des études fondamentales des interactions plasmas-surfaces. Ce projet s’inscrit dans le cadre d’une ...
Étude spectroscopique des phénomènes de résonance dans les plasmas micro-ondes
(2018-10-18)
Dans les plasmas produits par des champs électromagnétiques de haute fréquence, le chauffage des électrons peut provenir du chauffage ohmique (collisionnel) ou encore de processus non collisionnels. Dans ce régime, la ...
Dépôt de couches minces nanocomposites par nébulisation d'une suspension colloïdale dans une décharge de Townsend à la pression atmosphérique = Nebulization of colloidal suspensions for the deposition of nanocomposite thin film by atmos-pheric pressure Townsend discharge
(2017-03-28)
Ce travail de thèse porte sur le développement de nouvelles couches minces nanocomposites par plasma froid à la pression atmosphérique. L’objectif principal est d’améliorer la compréhension des mécanismes physico-chimiques ...
Étude spectroscopique de décharge à barrière diélectrique à la pression atmosphérique dans des mélanges Ar/NH3 et Ar/Lactate d'éthyle
(2018-03-21)
Le présent mémoire est consacré à l’étude spectroscopique de décharges à barrières diélectriques à la pression atmosphérique dans des mélanges Ar/NH3 et Ar/lactate d’éthyle. Nous avons pu extraire, à l’aide d’un modèle ...
Étude de la cinétique et des dommages de gravure par plasma de couches minces de nitrure d’aluminium
(2014-03-03)
Une étape cruciale dans la fabrication des MEMS de haute fréquence est la gravure par plasma de la couche mince d’AlN de structure colonnaire agissant comme matériau piézoélectrique. Réalisé en collaboration étroite avec ...
Étude de la dynamique de croissance de revêtements nanostructurés multifonctionnels sur le bois par plasmas froids à la pression atmosphérique
(2017-03-28)
L’objectif de cette thèse est de réaliser une étude fondamentale de pointe des plasmas destinés au dépôt de revêtements nanostructurés fonctionnels sur le bois. Un accent particulier est porté sur les décharges à barrière ...
Dynamique de croissance par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc
(2015-09-30)
Le but de cette thèse était d’étudier la dynamique de croissance par pulvérisation par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc destinées à des applications électroniques, optoélectroniques et photoniques ...
Modification des propriétés optiques de nanofils à base de GaN par plasma N2/O2
(2014-09-29)
Une sonde électrostatique de Langmuir cylindrique a été utilisée pour caractériser une post-décharge d’un plasma d’ondes de surface de N2-O2 par la mesure de la densité des ions et électrons ainsi que la température des ...
Analyse des processus de dérive lors de la gravure profonde du silicium dans des plasmas SF6 et C4F8
(2015-02-18)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer des outils de diagnostics non-invasifs et de caractériser in-situ les dérives de procédé dans un réacteur industriel utilisé en production pour la gravure profonde du ...