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Space and time characterization of laser-induced plasmas for applications in chemical analysis and thin film deposition
Caractérisation spatio-temporelle de plasmas induits par laser pour des applications à la chimie analytique et au dépôt de couches minces
(2015-09-23)
Après des décennies de développement, l'ablation laser est devenue une technique importante pour un grand nombre d'applications telles que le dépôt de couches minces, la synthèse de nanoparticules, le micro-usinage, l’analyse ...
Dynamique de croissance par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc
(2015-09-30)
Le but de cette thèse était d’étudier la dynamique de croissance par pulvérisation par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc destinées à des applications électroniques, optoélectroniques et photoniques ...
Analyse des processus de dérive lors de la gravure profonde du silicium dans des plasmas SF6 et C4F8
(2015-02-18)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer des outils de diagnostics non-invasifs et de caractériser in-situ les dérives de procédé dans un réacteur industriel utilisé en production pour la gravure profonde du ...