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Effets des recuits ultra-rapides (10^5 K/s) sur la formation des siliciures métalliques en phase solide
(2016-03-23)
La synthèse de siliciures métalliques sous la forme de films ultra-minces demeure un enjeu majeur en technologie CMOS. Le contrôle du budget thermique, afin de limiter la diffusion des dopants, est essentiel. Des techniques ...
Relaxation et cristallisation du verre mou de chalcogénure Ge2Sb2Te5 après impact d’ions lourds à basse énergie
(2019-10-30)
Ce texte présente une étude nanocalorimétrique du phénomène de relaxation structurale, de cristallisation et de transition vitreuse du verre Ge2Sb2Te5 (GST). Pour analyser ces processus, on mesure la chaleur relâchée pendant ...