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Effets des recuits ultra-rapides (10^5 K/s) sur la formation des siliciures métalliques en phase solide
(2016-03-23)
La synthèse de siliciures métalliques sous la forme de films ultra-minces demeure un enjeu majeur en technologie CMOS. Le contrôle du budget thermique, afin de limiter la diffusion des dopants, est essentiel. Des techniques ...