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Caractérisation d’un plasma radiofréquence d’argon avec injection pulsée de gaz en vue d’une application au dépôt de couches minces nanocomposites
(2020-03-25)
Les matériaux (nano)composites font partie intégrante de l’industrie de l’aéronautique et de l’espace depuis plus de 50 ans. De nos jours, le concept de matériaux multifonctionnels combinant diverses propriétés pour réaliser ...
Caractérisation d'un procédé de dépôt de couches minces basé sur l'injection d'un aérosol dans un plasma à basse pression
(2023-11-01)
Le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma hors équilibre thermodynamique est largement étudié pour la synthèse de couches minces fonctionnelles. Pour certaines applications, la multifonctionnalité est un prérequis, ...
Couplage d’une décharge à barrière diélectrique avec un aérosol pour le dépôt de couches minces (multi)fonctionnelles : rôle de l’injection pulsée de précurseurs
(2023-02-22)
L'objectif de cette thèse est de réaliser une étude fondamentale de pointe du couplage d'injections pulsées d'aérosols avec une décharge à barrière diélectrique (DBD) à la pression atmosphérique pour le dépôt de films ...