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Dynamique de croissance par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc
(2015-09-30)
Le but de cette thèse était d’étudier la dynamique de croissance par pulvérisation par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc destinées à des applications électroniques, optoélectroniques et photoniques ...