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Modification des propriétés optiques de nanofils à base de GaN par plasma N2/O2
(2014-09-29)
Une sonde électrostatique de Langmuir cylindrique a été utilisée pour caractériser une post-décharge d’un plasma d’ondes de surface de N2-O2 par la mesure de la densité des ions et électrons ainsi que la température des ...
Caractérisation d’un plasma radiofréquence d’argon avec injection pulsée de gaz en vue d’une application au dépôt de couches minces nanocomposites
(2020-03-25)
Les matériaux (nano)composites font partie intégrante de l’industrie de l’aéronautique et de l’espace depuis plus de 50 ans. De nos jours, le concept de matériaux multifonctionnels combinant diverses propriétés pour réaliser ...
Étude électrique et spectroscopique d'une décharge nanopulsée dans l'hélium à la pression atmosphérique
(2019-06-19)
Le présent mémoire est consacré à l’étude électrique et spectroscopique de décharges
créées par des pulses répétitifs de l’ordre des nanosecondes à la pression atmosphérique dans
l’hélium. Nous avons notamment pu ...
Analyse des processus de dérive lors de la gravure profonde du silicium dans des plasmas SF6 et C4F8
(2015-02-18)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer des outils de diagnostics non-invasifs et de caractériser in-situ les dérives de procédé dans un réacteur industriel utilisé en production pour la gravure profonde du ...
Etude spectroscopique d’un plasma micro-onde à la pression atmosphérique et son application à la synthèse de nanostructures
(2014-05-20)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de caractériser la distribution axiale des plasmas tubulaires à la pression atmosphérique créés et entretenus par une onde électromagnétique de surface ainsi que d’explorer le ...
Synthèse et caractérisation physico-chimique de couches minces organosiliciées produites par décharge à barrière diélectrique
(2021-10-21)
Ce mémoire de maîtrise vise à étudier les propriétés physico-chimiques de couches minces organosiliciées produites par une décharge à barrière diélectrique à la pression atmosphérique (AP-DBD). Dans un premier temps, nous ...