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Voici les éléments 71-72 de 72
Étude de la physico-chimie d'un magnétoplasma de chlore pour la gravure sous-micrométrique
(2000-07-06)
L'objectif de cette thèse est de mieux comprendre les phénomènes physiques et chimiques se produisant dans un plasma de haute densité conçu pour la gravure sousmicrométrique de couches minces. Le plasma est produit dans ...
Étude de la photosensibilité dans la silice implantée avec des ions de haute énergie
(2000-02-03)
La photosensibilité est la propriété par laquelle un matériau donné voit son indice de réfraction changer sous l'effet d'une exposition lumineuse. Malgré le nombre croissant de dispositif basé sur ce phénomène, les mécanismes ...