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Étude de la cinétique et des dommages de gravure par plasma de couches minces de nitrure d’aluminium
(2014-03-03)
Une étape cruciale dans la fabrication des MEMS de haute fréquence est la gravure par plasma de la couche mince d’AlN de structure colonnaire agissant comme matériau piézoélectrique. Réalisé en collaboration étroite avec ...
Étude de la dynamique de croissance de revêtements nanostructurés multifonctionnels sur le bois par plasmas froids à la pression atmosphérique
(2017-03-28)
L’objectif de cette thèse est de réaliser une étude fondamentale de pointe des plasmas destinés au dépôt de revêtements nanostructurés fonctionnels sur le bois. Un accent particulier est porté sur les décharges à barrière ...
Dynamique de croissance par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc
(2015-09-30)
Le but de cette thèse était d’étudier la dynamique de croissance par pulvérisation par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc destinées à des applications électroniques, optoélectroniques et photoniques ...
Modification des propriétés optiques de nanofils à base de GaN par plasma N2/O2
(2014-09-29)
Une sonde électrostatique de Langmuir cylindrique a été utilisée pour caractériser une post-décharge d’un plasma d’ondes de surface de N2-O2 par la mesure de la densité des ions et électrons ainsi que la température des ...
Étude électrique et spectroscopique d'une décharge nanopulsée dans l'hélium à la pression atmosphérique
(2019-06-19)
Le présent mémoire est consacré à l’étude électrique et spectroscopique de décharges
créées par des pulses répétitifs de l’ordre des nanosecondes à la pression atmosphérique dans
l’hélium. Nous avons notamment pu ...
Analyse des processus de dérive lors de la gravure profonde du silicium dans des plasmas SF6 et C4F8
(2015-02-18)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer des outils de diagnostics non-invasifs et de caractériser in-situ les dérives de procédé dans un réacteur industriel utilisé en production pour la gravure profonde du ...
Etude spectroscopique d’un plasma micro-onde à la pression atmosphérique et son application à la synthèse de nanostructures
(2014-05-20)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de caractériser la distribution axiale des plasmas tubulaires à la pression atmosphérique créés et entretenus par une onde électromagnétique de surface ainsi que d’explorer le ...