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Développement et caractérisation de sources de neutres réactifs pour l’étude des interactions plasmas-surfaces
(2012-04-05)L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer et de caractériser diverses sources de neutres réactifs destinées à des études fondamentales des interactions plasmas-surfaces. Ce projet s’inscrit dans le cadre d’une vaste étude de la physique ...