Browsing Faculté des arts et des sciences – Département de physique - Thèses et mémoires by Subject "Electrical and spectroscopic plasmas diagnostics"
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Diagnostics spectroscopiques de plasmas RF en régime de pulvérisation physique et en présence de générations successives de poussières dans les chimies organosiliciées
(2019-03-13)Les travaux de recherche présentés dans cette thèse de doctorat caractérisent, premièrement de manière isolée puis combinée, les processus de dépôt de couches minces par pulvérisation physique d’une cible d’argent et par ajout d’un précurseur organosilicié. ...