Browsing Faculté des arts et des sciences – Département de physique - Thèses et mémoires by Subject "C4F8 plasma"
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Analyse des processus de dérive lors de la gravure profonde du silicium dans des plasmas SF6 et C4F8
(2015-02-18)L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer des outils de diagnostics non-invasifs et de caractériser in-situ les dérives de procédé dans un réacteur industriel utilisé en production pour la gravure profonde du silicium par le procédé Bosch. ...