Browsing Faculté des arts et des sciences – Département de physique - Thèses et mémoires by Advisor "Stafford, Luc"
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Analyse de la température du gaz dans les plasmas de haute fréquence à la pression atmosphérique par spectroscopie à très haute résolution spectrale
(2023-03-22)Le présent mémoire de maîtrise est consacré à une étude spectroscopique de la température du gaz dans les plasmas hors équilibre thermodynamique d’argon à la pression atmosphérique. Nous avons notamment pu extraire, à l’aide de mesures par spectroscopie ... -
Analyse des processus de dérive lors de la gravure profonde du silicium dans des plasmas SF6 et C4F8
(2015-02-18)L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer des outils de diagnostics non-invasifs et de caractériser in-situ les dérives de procédé dans un réacteur industriel utilisé en production pour la gravure profonde du silicium par le procédé Bosch. ... -
Caractérisation d'un procédé de dépôt de couches minces basé sur l'injection d'un aérosol dans un plasma à basse pression
(2023-11-01)Le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma hors équilibre thermodynamique est largement étudié pour la synthèse de couches minces fonctionnelles. Pour certaines applications, la multifonctionnalité est un prérequis, ce qui peut être réalisé ... -
Caractérisation d’un plasma radiofréquence d’argon avec injection pulsée de gaz en vue d’une application au dépôt de couches minces nanocomposites
(2020-03-25)Les matériaux (nano)composites font partie intégrante de l’industrie de l’aéronautique et de l’espace depuis plus de 50 ans. De nos jours, le concept de matériaux multifonctionnels combinant diverses propriétés pour réaliser des objectifs de performance ... -
Couplage d’une décharge à barrière diélectrique avec un aérosol pour le dépôt de couches minces (multi)fonctionnelles : rôle de l’injection pulsée de précurseurs
(2023-02-22)L'objectif de cette thèse est de réaliser une étude fondamentale de pointe du couplage d'injections pulsées d'aérosols avec une décharge à barrière diélectrique (DBD) à la pression atmosphérique pour le dépôt de films minces (multi)fonctionnels. Dans ... -
Dépôt de couches minces nanocomposites par nébulisation d'une suspension colloïdale dans une décharge de Townsend à la pression atmosphérique = Nebulization of colloidal suspensions for the deposition of nanocomposite thin film by atmos-pheric pressure Townsend discharge
(2017-03-28)Ce travail de thèse porte sur le développement de nouvelles couches minces nanocomposites par plasma froid à la pression atmosphérique. L’objectif principal est d’améliorer la compréhension des mécanismes physico-chimiques régissant ce procédé de ... -
Développement et caractérisation de sources de neutres réactifs pour l’étude des interactions plasmas-surfaces
(2012-04-05)L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer et de caractériser diverses sources de neutres réactifs destinées à des études fondamentales des interactions plasmas-surfaces. Ce projet s’inscrit dans le cadre d’une vaste étude de la physique ... -
Diagnostics spectroscopiques de plasmas d'argon à la pression atmosphérique en présence d'espèces réactives
(2020-06-04)Les travaux réalisés dans le cadre de cette thèse de doctorat caractérisent de manière cohérente la physique des plasmas d'argon à la pression atmosphérique en présence d'espèces réactives. Ces travaux sont motivés par les lacunes manifestes de la ... -
Diagnostics spectroscopiques de plasmas RF en régime de pulvérisation physique et en présence de générations successives de poussières dans les chimies organosiliciées
(2019-03-13)Les travaux de recherche présentés dans cette thèse de doctorat caractérisent, premièrement de manière isolée puis combinée, les processus de dépôt de couches minces par pulvérisation physique d’une cible d’argent et par ajout d’un précurseur organosilicié. ... -
Dynamique de croissance par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc
(2015-09-30)Le but de cette thèse était d’étudier la dynamique de croissance par pulvérisation par plasma RF magnétron des couches minces à base d’oxyde de zinc destinées à des applications électroniques, optoélectroniques et photoniques de pointe. Dans ce contexte, ... -
Étude de la cinétique et des dommages de gravure par plasma de couches minces de nitrure d’aluminium
(2014-03-03)Une étape cruciale dans la fabrication des MEMS de haute fréquence est la gravure par plasma de la couche mince d’AlN de structure colonnaire agissant comme matériau piézoélectrique. Réalisé en collaboration étroite avec les chercheurs de Teledyne ... -
Étude de la dynamique de croissance de revêtements nanostructurés multifonctionnels sur le bois par plasmas froids à la pression atmosphérique
(2017-03-28)L’objectif de cette thèse est de réaliser une étude fondamentale de pointe des plasmas destinés au dépôt de revêtements nanostructurés fonctionnels sur le bois. Un accent particulier est porté sur les décharges à barrière diélectrique (DBD) à la pression ... -
Étude électrique et spectroscopique d'une décharge nanopulsée dans l'hélium à la pression atmosphérique
(2019-06-19)Le présent mémoire est consacré à l’étude électrique et spectroscopique de décharges créées par des pulses répétitifs de l’ordre des nanosecondes à la pression atmosphérique dans l’hélium. Nous avons notamment pu extraire, à l’aide de mesures par ... -
Étude électrique et spectroscopique des décharges à barrière diélectrique à la pression atmosphérique en milieux réactifs
(2020-03-25)Le travail présenté dans le cadre de ce mémoire s’intéresse à l’étude des plasmas à la pression atmosphérique en configuration décharge à barrière diélectrique (DBD), pertinents pour le traitement de surface. Plus spécifiquement, les DBDs à l’étude ... -
Étude fondamentale des interactions plasma-graphène dans les plasmas Argon/B2H6
(2021-03-24)Les travaux de recherche menés dans cette thèse de doctorat se sont focalisés sur la compréhension des interactions graphène-plasma dans le cas de l’exposition de graphène polycristallin à un plasma d’argon pouvant contenant du diborane (B2H6). Une ... -
Étude fondamentale du traitement du bois dans les plasmas N2-O2
(2018-03-21)Le traitement du bois par plasma a été étudié au moyen d’une décharge à barrière diélectrique (DBD). Des échantillons d’érable à sucre (Acer saccharum) et d’épinette noire (Picea mariana) ont été exposés à la post-décharge en flux d’une DBD à la pression ... -
Étude fondamentale d’une Décharge à Barrière Diélectrique en N2 à la pression atmosphérique en régime de Townsend
(2021-07-14)L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de caractériser une Décharge à Barrière Diélectrique (DBD) à la pression atmosphérique dans l’azote en régime homogène. L’objectif est d’une part de mettre en évidence les différents paramètres fondamentaux de ... -
Etude radiative d’un plasma d’argon à la pression atmosphérique produit par des micro-ondes en régime pulsé
(2022-10-26)Le présent mémoire de maîtrise a pour but de jeter les bases sur la physique des plasmas micro-ondes en régime pulsé dans l’argon à la pression atmosphérique. Pour cela, nous avons utilisé une photodiode nous permettant d’acquérir l’émission globale ... -
Étude spectroscopique de décharge à barrière diélectrique à la pression atmosphérique dans des mélanges Ar/NH3 et Ar/Lactate d'éthyle
(2018-03-21)Le présent mémoire est consacré à l’étude spectroscopique de décharges à barrières diélectriques à la pression atmosphérique dans des mélanges Ar/NH3 et Ar/lactate d’éthyle. Nous avons pu extraire, à l’aide d’un modèle collisionnel radiatif, le ... -
Étude spectroscopique des phénomènes de résonance dans les plasmas micro-ondes
(2018-10-18)Dans les plasmas produits par des champs électromagnétiques de haute fréquence, le chauffage des électrons peut provenir du chauffage ohmique (collisionnel) ou encore de processus non collisionnels. Dans ce régime, la production d'électrons suprathermiques ...
