Browsing Faculté des arts et des sciences – Département de physique - Thèses et mémoires by Advisor "Margot, Joëlle"
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Élaboration d’un simulateur de gravure par plasma de haute densité basé sur une approche cellulaire pour l’étude de profils dans divers matériaux
(2010-01-07)La réalisation de dispositifs à des dimensions sous-micrométriques et nanométriques demande une maîtrise parfaite des procédés de fabrication, notamment ceux de gravure. La réalisation des ces dispositifs est complexe et les exigences en termes de ... -
Étude critique de la densité électronique et des températures (excitation et ionisation) d'un plasma d'aluminium induit par laser
(2010-04-01)La caractérisation de matériaux par spectroscopie optique d’émission d’un plasma induit par laser (LIPS) suscite un intérêt qui ne va que s’amplifiant, et dont les applications se multiplient. L’objectif de ce mémoire est de vérifier l’influence du ... -
Étude de la physico-chimie d'un magnétoplasma de chlore pour la gravure sous-micrométrique
(2000-07-06)L'objectif de cette thèse est de mieux comprendre les phénomènes physiques et chimiques se produisant dans un plasma de haute densité conçu pour la gravure sousmicrométrique de couches minces. Le plasma est produit dans le chlore par une onde ... -
Étude du dopage de couches minces de VO2 déposées par ablation laser par des éléments légers (B et C)
(2018-10-18)Parmi tous les matériaux qui possèdent une transition de phase d’isolant à métal, le dioxyde de vanadium (VO2) a la température de transition (TIMT ≈ 68°C) la plus proche de la température ambiante. Sa transition de phase est accompagnée par une variation ... -
Étude expérimentale et modélisation de la dynamique spatiotemporelle de décharges nanosecondes impulsionnelles en contact avec l'eau
(2024-10-30)Cette thèse vise à mieux comprendre la physique des décharges électriques impulsionnelles produites dans l’air en contact avec une solution liquide. Des impulsions haute tension (amplitude 8 - 20 kV et largeur de 100 ns) sont appliquées à une pointe ... -
Étude spatiale et temporelle d’un plasma produit par une onde électromagnétique de surface impulsionnelle dans l’hélium
(2019-10-30)L’isotope d’hélium 3 avec une polarisation nucléaire induite, déjà très utile dans différents domaines de recherche nucléaire a été identifié comme un marqueur idéal afin d’améliorer l’imagerie médicale par résonance magnétique des voies respiratoires. ... -
Formation de poudres carbonées dans un plasma de haute fréquence produit à très basse pression dans des mélanges acétylène-argon
(2017-09-27)Dusty plasmas are plasmas that contain solid particles of nano- or micrometer size. They are widespread in the cosmic environment and act as precursors in the formation of planets and stars. Such plasmas are also used in laboratories for the synthesis ... -
Formation et transport de poussières en plasma magnétisé basse pression
(2019-03-13)Depuis la fin des années 80, les plasmas poussiéreux sont l’objet d’un grand nombre d’études. Plusieurs domaines de la physique des plasmas sont confrontés à la présence de ces parti- cules: en astrophysique, dans les procédés de dépôt ou de ... -
Simulation de profils de gravure et de dépôt à l’échelle du motif pour l’étude des procédés de microfabrication utilisant une source plasma de haute densité à basse pression
(2013-03-01)En lien avec l’avancée rapide de la réduction de la taille des motifs en microfabrication, des processus physiques négligeables à plus grande échelle deviennent dominants lorsque cette taille s’approche de l’échelle nanométrique. L’identification et ... -
Space and time characterization of laser-induced plasmas for applications in chemical analysis and thin film deposition
Caractérisation spatio-temporelle de plasmas induits par laser pour des applications à la chimie analytique et au dépôt de couches minces
(2015-09-23)Après des décennies de développement, l'ablation laser est devenue une technique importante pour un grand nombre d'applications telles que le dépôt de couches minces, la synthèse de nanoparticules, le micro-usinage, l’analyse chimique, etc. Des études ... -
Transition des basses fréquences aux hautes fréquences d’une décharge à barrière diélectrique en hélium à la pression atmosphérique
(2018-03-21)Les décharges à barrière diélectrique homogènes à la pression atmosphérique représentent un véritable intérêt autant pour les applications industrielles que pour la richesse de leur comportement physique. Jusqu’à maintenant, la gamme des basses fréquences ...
