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Étude fondamentale des interactions plasma-graphène dans les plasmas Argon/B2H6
(2021-03-24)Les travaux de recherche menés dans cette thèse de doctorat se sont focalisés sur la compréhension des interactions graphène-plasma dans le cas de l’exposition de graphène polycristallin à un plasma d’argon pouvant contenant du diborane (B2H6). Une ...