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Mécanismes de recuit dans le silicium implanté par faisceau d’ion caractérisés par nanocalorimétrie
(2011-01-06)
Nous présenterons le procédé de fabrication, la caractérisation, ainsi qu’un modèle numérique permettant l’optimisation d’un nouveau dispositif permettant d’effectuer des mesures de nanocalorimétrie sur un échantillon de ...