Parcourir Faculté des arts et des sciences – Département de physique par sujet "Pulsed Injection of gases and precursors"
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Couplage d’une décharge à barrière diélectrique avec un aérosol pour le dépôt de couches minces (multi)fonctionnelles : rôle de l’injection pulsée de précurseurs
(2023-02-22)L'objectif de cette thèse est de réaliser une étude fondamentale de pointe du couplage d'injections pulsées d'aérosols avec une décharge à barrière diélectrique (DBD) à la pression atmosphérique pour le dépôt de films minces (multi)fonctionnels. Dans ...