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  • Étude fondamentale des interactions plasma-graphène dans les plasmas Argon/B2H6 

    Vinchon, Pierre (2021-03-24)
    Les travaux de recherche menés dans cette thèse de doctorat se sont focalisés sur la compréhension des interactions graphène-plasma dans le cas de l’exposition de graphène polycristallin à un plasma d’argon pouvant contenant du diborane (B2H6). Une ...

  • In-plasma analysis of plasma–surface interactions 

    Vinchon, Pierre; Asadollahi, Siavash; Coté, Claude; Marcet, Stephane; Atallah, S.; Dessureault, Émile; Chicoine, Martin; Sarkissian, Andranik; Leonelli, Richard; Roorda, Sjoerd; Schiettekatte, François; Stafford, Luc (American Institute of Physics, 2023)
    During deposition, modification, and etching of thin films and nanomaterials in reactive plasmas, many active species can interact with the sample simultaneously. This includes reactive neutrals formed by fragmentation of the feed gas, positive ions, ...