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dc.contributor.advisorMargot, Joëlle
dc.contributor.authorLanglois, Olivier
dc.date.accessioned2017-03-15T01:26:21Z
dc.date.available2017-03-15T01:26:21Z
dc.date.issued2005
dc.date.submitted2005
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/1866/17356
dc.subjectPulvérisation
dc.subjectSpectrométrie de masse
dc.subjectActinométrie
dc.subjectSF₆
dc.titleÉtude de la gravure physico-chimique du titanate de strontium dans un plasma fluoré
dc.typeThèse ou mémoire / Thesis or Dissertation
etd.degree.disciplinePhysiquefr
etd.degree.grantorUniversité de Montréalfr
etd.degree.levelMaîtrise / Master's
etd.degree.nameM. Sc.
dcterms.descriptionMémoire numérisé par la Direction des bibliothèques de l'Université de Montréal.fr
dcterms.languagefra


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