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Élaboration d’un simulateur de gravure par plasma de haute densité basé sur une approche cellulaire pour l’étude de profils dans divers matériaux
(2010-01-07)
La réalisation de dispositifs à des dimensions sous-micrométriques et nanométriques demande une maîtrise parfaite des procédés de fabrication, notamment ceux de gravure. La réalisation des ces dispositifs est complexe et ...
Diagnostics spectroscopiques de plasmas d'argon à la pression atmosphérique en présence d'espèces réactives
(2020-06-04)
Les travaux réalisés dans le cadre de cette thèse de doctorat caractérisent de manière cohérente la physique des plasmas d'argon à la pression atmosphérique en présence d'espèces réactives. Ces travaux sont motivés par les ...
Développement et caractérisation de sources de neutres réactifs pour l’étude des interactions plasmas-surfaces
(2012-04-05)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer et de caractériser diverses sources de neutres réactifs destinées à des études fondamentales des interactions plasmas-surfaces. Ce projet s’inscrit dans le cadre d’une ...
Étude fondamentale d’une Décharge à Barrière Diélectrique en N2 à la pression atmosphérique en régime de Townsend
(2021-07-14)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de caractériser une Décharge à Barrière Diélectrique (DBD) à la pression atmosphérique dans l’azote en régime homogène. L’objectif est d’une part de mettre en évidence les différents ...
Étude spectroscopique et électrique de décharges contrôlées par barrières diélectriques en régime multi-pics
(2019-03-13)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de caractériser une Décharge à Barrière Diélectrique (DBD) à la pression atmosphérique en gaz d’hélium dans un régime homogène, mais présentant un caractère multi-pics, c’est-à-dire ...
Décharge à courant alternatif (AC) dans l’air et en contact avec l’eau : caractérisation fondamentale et application au traitement des eaux
(2021-03-24)
Les décharges en phase gazeuse couplées avec les liquides est une branche relativement nouvelle de la physique des plasmas. Le développement des applications technologiques basées sur les plasmas-liquides dans des domaines ...
Simulation de profils de gravure et de dépôt à l’échelle du motif pour l’étude des procédés de microfabrication utilisant une source plasma de haute densité à basse pression
(2013-03-01)
En lien avec l’avancée rapide de la réduction de la taille des motifs en microfabrication, des processus physiques négligeables à plus grande échelle deviennent dominants lorsque cette taille s’approche de l’échelle ...
Étude de l'influence de la réassociation en surface des atomes N et O sur l'inactivation des spores bactériennes dans une post-décharge N2-O2 basse pression en flux
(2013-03-01)
Le recours au plasma pour stériliser des dispositifs médicaux (DM) est un domaine de recherche ne datant véritablement que de la fin des années 1990. Les plasmas permettent, dans les conditions adéquates, de réaliser la ...
Étude spectroscopique des phénomènes de résonance dans les plasmas micro-ondes
(2018-10-18)
Dans les plasmas produits par des champs électromagnétiques de haute fréquence, le chauffage des électrons peut provenir du chauffage ohmique (collisionnel) ou encore de processus non collisionnels. Dans ce régime, la ...
Space and time characterization of laser-induced plasmas for applications in chemical analysis and thin film deposition
Caractérisation spatio-temporelle de plasmas induits par laser pour des applications à la chimie analytique et au dépôt de couches minces
(2015-09-23)
Après des décennies de développement, l'ablation laser est devenue une technique importante pour un grand nombre d'applications telles que le dépôt de couches minces, la synthèse de nanoparticules, le micro-usinage, l’analyse ...