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Étude spectroscopique de décharge à barrière diélectrique à la pression atmosphérique dans des mélanges Ar/NH3 et Ar/Lactate d'éthyle
(2018-03-21)
Le présent mémoire est consacré à l’étude spectroscopique de décharges à barrières diélectriques à la pression atmosphérique dans des mélanges Ar/NH3 et Ar/lactate d’éthyle. Nous avons pu extraire, à l’aide d’un modèle ...
Étude de la cinétique et des dommages de gravure par plasma de couches minces de nitrure d’aluminium
(2014-03-03)
Une étape cruciale dans la fabrication des MEMS de haute fréquence est la gravure par plasma de la couche mince d’AlN de structure colonnaire agissant comme matériau piézoélectrique. Réalisé en collaboration étroite avec ...
Étude spatiale et temporelle d’un plasma produit par une onde électromagnétique de surface impulsionnelle dans l’hélium
(2019-10-30)
L’isotope d’hélium 3 avec une polarisation nucléaire induite, déjà très utile dans
différents domaines de recherche nucléaire a été identifié comme un marqueur idéal afin
d’améliorer l’imagerie médicale par résonance ...
Étude électrique et spectroscopique des décharges à barrière diélectrique à la pression atmosphérique en milieux réactifs
(2020-03-25)
Le travail présenté dans le cadre de ce mémoire s’intéresse à l’étude des plasmas à la pression atmosphérique en configuration décharge à barrière diélectrique (DBD), pertinents pour le traitement de surface. Plus ...
Développement et caractérisation de sources de neutres réactifs pour l’étude des interactions plasmas-surfaces
(2012-04-05)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de développer et de caractériser diverses sources de neutres réactifs destinées à des études fondamentales des interactions plasmas-surfaces. Ce projet s’inscrit dans le cadre d’une ...
Étude fondamentale d’une Décharge à Barrière Diélectrique en N2 à la pression atmosphérique en régime de Townsend
(2021-07-14)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de caractériser une Décharge à Barrière Diélectrique (DBD) à la pression atmosphérique dans l’azote en régime homogène. L’objectif est d’une part de mettre en évidence les différents ...
Étude spectroscopique et électrique de décharges contrôlées par barrières diélectriques en régime multi-pics
(2019-03-13)
L’objectif de ce mémoire de maîtrise est de caractériser une Décharge à Barrière Diélectrique (DBD) à la pression atmosphérique en gaz d’hélium dans un régime homogène, mais présentant un caractère multi-pics, c’est-à-dire ...
Décharge à courant alternatif (AC) dans l’air et en contact avec l’eau : caractérisation fondamentale et application au traitement des eaux
(2021-03-24)
Les décharges en phase gazeuse couplées avec les liquides est une branche relativement nouvelle de la physique des plasmas. Le développement des applications technologiques basées sur les plasmas-liquides dans des domaines ...
Simulation de profils de gravure et de dépôt à l’échelle du motif pour l’étude des procédés de microfabrication utilisant une source plasma de haute densité à basse pression
(2013-03-01)
En lien avec l’avancée rapide de la réduction de la taille des motifs en microfabrication, des processus physiques négligeables à plus grande échelle deviennent dominants lorsque cette taille s’approche de l’échelle ...
Étude de l'influence de la réassociation en surface des atomes N et O sur l'inactivation des spores bactériennes dans une post-décharge N2-O2 basse pression en flux
(2013-03-01)
Le recours au plasma pour stériliser des dispositifs médicaux (DM) est un domaine de recherche ne datant véritablement que de la fin des années 1990. Les plasmas permettent, dans les conditions adéquates, de réaliser la ...