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Élaboration d’un simulateur de gravure par plasma de haute densité basé sur une approche cellulaire pour l’étude de profils dans divers matériaux
(2010-01-07)
La réalisation de dispositifs à des dimensions sous-micrométriques et nanométriques demande une maîtrise parfaite des procédés de fabrication, notamment ceux de gravure. La réalisation des ces dispositifs est complexe et ...
Space and time characterization of laser-induced plasmas for applications in chemical analysis and thin film deposition
Caractérisation spatio-temporelle de plasmas induits par laser pour des applications à la chimie analytique et au dépôt de couches minces
(2015-09-23)
Après des décennies de développement, l'ablation laser est devenue une technique importante pour un grand nombre d'applications telles que le dépôt de couches minces, la synthèse de nanoparticules, le micro-usinage, l’analyse ...
Formation et transport de poussières en plasma magnétisé basse pression
(2019-03-13)
Depuis la fin des années 80, les plasmas poussiéreux sont l’objet d’un grand nombre d’études. Plusieurs domaines de la physique des plasmas sont confrontés à la présence de ces parti- cules: en astrophysique, dans ...
Formation de poudres carbonées dans un plasma de haute fréquence produit à très basse pression dans des mélanges acétylène-argon
(2017-09-27)
Dusty plasmas are plasmas that contain solid particles of nano- or micrometer size. They are widespread in the cosmic environment and act as precursors in the formation of planets and stars. Such plasmas are also used in ...
Transition des basses fréquences aux hautes fréquences d’une décharge à barrière diélectrique en hélium à la pression atmosphérique
(2018-03-21)
Les décharges à barrière diélectrique homogènes à la pression atmosphérique représentent un véritable intérêt autant pour les applications industrielles que pour la richesse de leur comportement physique. Jusqu’à maintenant, ...