An in-depth study of high energy oxygen implantation into ion-damaged silicon
| dc.contributor.advisor | Brebner, John Low | |
| dc.contributor.advisor | Yelon, Arthur | |
| dc.contributor.author | Bultena, Sandy | |
| dc.date.accessioned | 2023-09-29T14:50:59Z | |
| dc.date.available | 2023-09-29T14:50:59Z | |
| dc.date.issued | 1998 | |
| dc.date.submitted | 1995 | |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/1866/29533 | |
| dc.subject | Physique | fr |
| dc.title | An in-depth study of high energy oxygen implantation into ion-damaged silicon | |
| dc.type | Thèse ou mémoire / Thesis or Dissertation | |
| etd.degree.discipline | Physique | fr |
| etd.degree.grantor | Université de Montréal | fr |
| etd.degree.level | Doctorat / Doctoral | |
| etd.degree.name | Ph. D. | |
| dcterms.description | Thèse numérisée par la Direction des bibliothèques de l'Université de Montréal. | fr |
| dcterms.language | eng |
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